BALLUFF位移傳感器BTL7-S573B-M1250-CD-S32
其是靈敏度誤差:產生誤差大小與壓力成正比。如果設備的靈敏度高于典型值,
靈敏度誤差將是壓力的遞增函數。如果靈敏度低于典型值,那么靈敏度誤差
將是壓力的遞減函數。該誤差的產生原因在于擴散過程的變化。
第三是線性誤差:這是一個對壓力傳感器初始誤差影響較小的因素,
該誤差的產生原因在于硅片的物理非線性,但對于帶放大器的傳感器,
還應包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線,也可以是凸形曲線稱重傳感器。
Z后是滯后誤差:在大多數情形中,壓力傳感器的滯后誤差*可以忽略不計
因為硅片具有很高的機械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮
壓力傳感器的這個四個誤差是無法避免的,我們只能選擇高精度的設備,
利用來降低這些誤差,還可以在出廠的時候
進行一點的誤差校準,盡Z大的可能來降低誤差以滿足客戶的需要。
BALLUFF位移傳感器是工業實踐中Z為常用的一種傳感器。一般普通壓力傳感器的輸出為模擬信號,
模擬信號是指信息參數在給定范圍內表現為連續的信號。
或在一段連續的時間間隔內,其代表信息的特征量可以在任意瞬間呈現為任意數值的信號。
而我們通常的壓力傳感器主要是利用壓電效應制造而成的,這樣的傳感器也稱為壓電傳感器。
其特點是體積小、質量輕、準確度高、溫度特性好。特別是隨著MEMS技術的發展
,半導體傳感器向著微型化發展,而且其功耗小、可靠性高。
半導體壓電阻抗擴散壓力傳感器是在薄片表面形成半導體變形壓力,
通過外力(壓力)使薄片變形而產生壓電阻抗,從而使阻抗的變化轉換成電信號。
靜電容量型壓力傳感器,是將玻璃的固定極和硅的可動極相對而形成電容,
將通過外力(壓力)使可動極變形所產生的靜電容量的變化轉換成電氣信號。
(E8Y的動作原理便是靜電容量方式,其他機種采用半導體方式)。
BALLUFF位移傳感器BTL7-S573B-M1250-CD-S32